[简答题]简述CDI系统各组成部分及各组成部分作用？

参考答案:冷却分离部分：通过冷凝器和分离器将尾气中的大部分SiHCL3、SiCl4、SiH2CL2冷却、分离。经过这个步骤以后，尾气中的主要组分是HCL和H2，另外还有很少量的SiHCL3、SiH2CL2和SiCl4。压缩冷凝部分：经过冷却分离后的尾气进入压缩机加压，使尾气中的氯硅烷成分的浓度大幅度升高，然后用制冷剂（R23）将其冷凝，以达到完全将其分离和回收的目的。经过这个步骤以后，尾气中基本不含有SiHCL3、SiH2CL2和SiCl4成分。
吸收和解析部分：除去氯硅烷成分的尾气进入吸收塔，用冷的氯硅烷液体将尾气中的HCL吸收，H2则因为不溶解于氯硅烷而继续留在尾气中。吸收了HCL成分的氯硅烷液体被送到解析塔进行蒸馏解析，将溶解在氯硅烷液体中的HCL蒸发成为气体，从而达到将HCL分离和回收的目的。
活性炭吸附部分：从吸收和解析部分出来的尾气中绝大部分是H2。用活性炭吸附柱将H2中的杂质吸附、净化，即可得到纯度很高的H2气体，可以直接用于生产过程。
制冷系统：在CDI尾气回收系统中，用R23作制冷剂为系统提供冷量，以将尾气中的低沸点组分冷凝回收。